【南京纯水设备】产水量1吨/小时的半导体超纯水设备

一、参数与标准

1、水质指标

1）电阻率：≥18.2 MΩ·cm（25℃）。

2）离子含量：硼≤0.005μg/L，硅≤0.01μg/L，金属离子≤10ppt。

3）颗粒物：<50nm微粒≤100个/L，TOC≤5 ppb，DO≤5 ppb。

2、设备材质

1）管路：全316L不锈钢或UPVC。

2）水箱：316L氮封纯水箱，防止CO₂溶解。

二、配置与工艺流程

1、预处理系统

1）多介质过滤器：去除悬浮物、颗粒物（粒径>5μm），采用石英砂与无烟煤分层填充，流量匹配1T/H。

2）活性炭过滤器：吸附有机物、余氯及异味，选用椰壳活性炭，需定期更换。

3）软化系统：软化水质，采用钠型离子交换树脂，防止RO膜结垢。

4）保安过滤器：5μm折叠滤芯，保护RO膜免受颗粒损伤。

2、反渗透系统

1）高压泵：南方泵CDL8-10（功率3.7kW），压力1.2-1.5MPa。

2）RO膜：陶氏DOW XLE-4040，脱盐率≥99.5%。

3、深度脱盐系统

1）EDI模块：西门子IONPURE，电阻率≥15 MΩ·cm，采用核子级树脂与离子交换膜，硼离子脱除率≥99.9%（出水≤0.005μg/L）。

2）抛光混床：核子级阴/阳离子树脂，进一步去除微量离子，电阻率可提升至18.2 MΩ·cm。

4、终端后处理系统

1）TOC脱除器：185nm+254nm紫外线联用，降解有机物（TOC<5 ppb）。

2）终端超滤：0.01μm孔径膜包，拦截胶体与微粒（粒径<50nm，数量<100个/L）。

3）脱气膜：去除溶解氧（DO<5 ppb），避免氧化。南京反渗透纯水设备 南京EDI超纯水处理设备 南京工业纯水设备 南京实验室超纯水设备 南京医药纯化水设备 南京去离子水处理设备