集成电路用超纯水设备的工艺流程以及特点
来源:南京纯水设备 2021/6/1 10:06:27 点击:
【南京纯水设备】集成电路用超纯水设备主要采用双级反渗透+EDI连续电除盐技术。前置预处理可有效去除原水中的胶体、悬浮物、余氯等杂质,通过双级反渗透进一步提高水质,以延长EDI膜堆使用寿命。在用水点前采用氮封水箱,使产水水质更加稳定,电阻率能达到18 MΩ*cm(25℃)。
集成电路用超纯水设备工艺流程:
原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→软水装置→保安过滤器→一级高压泵→一级反渗透→中间水箱→二级高压泵→二级反渗透→EDI泵→EDI系统→抛光树脂→氮封水箱→用水点南京超纯水设备
集成电路用超纯水设备的特点
1、EDI膜堆有连续运行性,离子交换和再生产同步,无需停机再生,无需酸碱储运设备及计量设备等。
2、EDI采用连续电除盐技术,离子交换和再生是同步的,其水质非常稳定,
3、采用氮封水箱,可有效防止超纯水与空气接触,进一步稳定水质。南京实验室纯水设备
4、操作简单,只需要调节EDI模块的电压、电流,实现了全自动的控制。
5、EDI超纯水设备占地小,设备安装维修简单便捷,自动化程度高,便于管理。南京反渗透纯水设备 南京EDI纯水处理设备
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